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Home > 사업소개 > 반도체기판 검사
반도체 기판 검사 기술의 선두주자, 다모테크.
기판의 회로패턴이 설계DATA와 동일한지를 자동광학설비(AOI)로 검사하고
지정된 UNIT항목 및 SIZE가 정확한지 측정하는 공정
반도체기판이란
일반기판보다 미세한 회로가 형성되어 있는 고밀도회로기판으로 반도체와 일반기판 사이에서 전기적 신호를 전달하고,
고가의 반도체를 외부 스트레스로 부터 보호해 주는 역할을 하는 전자부품
반도체기판 검사공정
표면처리
PSR
외층회로형성
원자재입고
도금
DRILL
적층
내층회로형성
외형가공
전기성능검사
검사
포장
AOI
반도체기판 회로패턴이
설계DATA와 동일한지를
자동광학 설비(AOI)로 검사
AOI
치수측정
치수측정
치수측정
치수측정
지정된 UNIT항목의
WIDTH, THICKNESS, RECESS DEPTH,
DIAMETER 등을 측정
반도체기판 회로패턴이 설계DATA 대로
정확하게 작업 되었는지를 측정
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